VAT 65148-PHCH-AWK1 真空擺動閥
VAT 65148-PHCH-AWK1 為 VAT 651 系列高真空擺動式閥門（Pendulum Valve），主要應用於半導體製程設備及真空系統，適合用於晶圓製程腔體的真空隔離與流量控制。
本產品採 250 mm（10"）口徑、ISO-F 法蘭設計，閥體採鋁合金硬質陽極處理，具備良好的耐用性與真空環境適應性。搭配 UC-PFO / SPS 致動器及 RS232 控制介面，可整合至自動化真空設備系統中。
產品特色：
- 品牌：VAT
- 型號：65148-PHCH-AWK1
- 系列：VAT 651 Series
- 類型：Pendulum Valve／真空擺動閥
- 口徑：250 mm（10")
- 法蘭：ISO-F
- 致動器：UC-PFO / SPS
- 控制介面：RS232
- 適用於半導體製程與高真空設備
- 適合作為設備維修、備品及替換零件使用
適用範圍：
半導體製程設備、真空腔體、晶圓製程設備及其他高真空系統。